用戶在選用灑水車真空泵時,需要注意以下幾點:
1、灑水車真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的(de)真(zhen)空(kong)度,選用的(de)真(zhen)空(kong)泵的(de)真(zhen)空(kong)度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度要高于真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)設備真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度半個到一個數(shu)量級。
2、正確地選(xuan)擇真空泵(beng)的工作點。每(mei)種泵(beng)都有一(yi)定的工作壓強(qiang)范圍,如(ru):擴散泵(beng)為(wei)10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓(ya)(ya)強范圍內,泵的(de)抽速隨壓(ya)(ya)強而變化(hua),其穩定(ding)的(de)工作壓(ya)(ya)強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而(er),泵的工作點應(ying)該選(xuan)在這(zhe)個范圍之內,而(er)不能讓(rang)它在10-8mmHg下長期工作。又如(ru)鈦升華泵可以在(zai)10-2mmHg下工作(zuo)(zuo),但其工作(zuo)(zuo)壓強應小于1×10-5mmHg為好。
3、真(zhen)空(kong)泵在其(qi)工作壓強下(xia),應能排走真(zhen)空(kong)設備工藝過程中產生的全(quan)部(bu)氣體(ti)(ti)量(liang)。
4、正確(que)地組合(he)(he)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)。由于真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)有(you)選(xuan)擇性(xing)抽氣,因而,有(you)時選(xuan)用一(yi)種泵(beng)不能(neng)滿(man)足抽氣要求,需(xu)要幾(ji)種泵(beng)組合(he)(he)起來(lai),互(hu)相補充才(cai)能(neng)滿(man)足抽氣要求。如鈦(tai)升華(hua)泵(beng)對(dui)(dui)氫有(you)很高的抽速,但不能(neng)抽氦,而三(san)極型濺(jian)射離(li)子(zi)泵(beng),(或(huo)二極型非對(dui)(dui)稱陰極濺(jian)射離(li)子(zi)泵(beng))對(dui)(dui)氬有(you)一(yi)定的抽速,兩(liang)者組合(he)(he)起來(lai),便會使真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)裝(zhuang)置得到較好的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度。另外,有(you)的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)不能(neng)在大氣壓下工作,需(xu)要預真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong);有(you)的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)出口壓強(qiang)低于大氣壓,需(xu)要前級泵(beng),故(gu)都需(xu)要把泵(beng)組合(he)(he)起來(lai)使用。
5、真(zhen)空設備(bei)對油(you)(you)污染的(de)要(yao)求(qiu)。若(ruo)設備(bei)嚴(yan)(yan)格(ge)要(yao)求(qiu)無(wu)油(you)(you)時,應該(gai)選各(ge)種(zhong)無(wu)油(you)(you)泵(beng),如(ru):水環泵(beng)、分(fen)子(zi)篩吸附泵(beng)、濺(jian)射離(li)子(zi)泵(beng)、低溫泵(beng)等。如(ru)果要(yao)求(qiu)不嚴(yan)(yan)格(ge),可(ke)以選擇(ze)有油(you)(you)泵(beng),加上一些防油(you)(you)污染措施(shi),如(ru)加冷阱(jing)、障板、擋油(you)(you)阱(jing)等,也能達到清潔真(zhen)空要(yao)求(qiu)。
6、了解(jie)被(bei)抽(chou)氣體(ti)成(cheng)分,氣體(ti)中(zhong)含不含可凝蒸(zheng)氣,有無顆粒(li)灰(hui)塵,有無腐(fu)蝕性(xing)等(deng)。選(xuan)擇(ze)真空泵時,需要知道氣體(ti)成(cheng)分,針對(dui)被(bei)抽(chou)氣體(ti)選(xuan)擇(ze)相應的泵。如果(guo)氣體(ti)中(zhong)含有蒸(zheng)氣、顆粒(li)、及腐(fu)蝕性(xing)氣體(ti),應該考慮在泵的進氣口(kou)管路上(shang)安裝(zhuang)輔(fu)助設備(bei),如冷(leng)凝器、除塵器等(deng)。
7、真(zhen)空泵(beng)排出來的(de)油蒸氣對(dui)環境(jing)的(de)影響如(ru)何。如(ru)果環境(jing)不(bu)允許有污染,可以選(xuan)無油真(zhen)空泵(beng),或者(zhe)把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工(gong)作(zuo)時產生的(de)振動對工(gong)藝(yi)過(guo)程及環境(jing)有無(wu)影(ying)響。若(ruo)工(gong)藝(yi)過(guo)程不允許,應選擇無(wu)振動的(de)泵或(huo)者采取防(fang)振動措施。
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